웨이퍼 세정용 화학약품의 보다 균일한 도포 다음과 같은 문제가 있으신가요? 배관 막힘 등으로 압력과 유량의 관계가 변하면, 약액의 투입량이 달라져 세정 품질에 영향을 줄 수 있습니다. 장치 제어 기기 사례
[Batch식 및 싱글 웨이퍼 세정 장비] 액면을 안정적으로 감지하는 센서를 제공합니다. 반도체 제조용 Batch식 또는 싱글 웨이퍼 세정 장비에서 액면 감지와 관련된 문제를 겪고 계신가요? 공장 / 플랜트 제어 기기 사례
