【最適合半導體製造設備清洗機 】致受液體洩漏偵測問題困擾的您①

您有這樣的困擾嗎?

 

漏液檢測的困擾

更換漏水檢知帶等修復與維護工作需耗費時間。

耗費時間為化學品或溶劑類型選擇正確的機型。

由於感測器的高度與纜線抽取方向不一致,因此無法偵測到設備底部洩漏。

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半導體裝置 設備下方不能進入

若選擇Azbil的漏液開關(漏液感測器)

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漏液検知

 

優點①

光學設計・方便快速維修

檢測到洩漏後,可將檢測表面擦拭乾淨,以便快速重建。 由於是光學系統,因此不依賴液體的導電性。

優點②

化學品,為環境準備產品

可提供PP、PVC和PFA等內建放大器類型。也有光纖型號(材質:PFA)可供選擇,此型號不需為偵測單元通電。

 

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漏液檢測解決方案
資料編號:CP-PC-9000-001T