【半導体製造装置 洗浄機に最適 】漏液検知でお困りの方へ①

漏水検知帯の張替えなど、復旧、メンテナンスに時間がかかる。

薬液や溶剤の種類に応じた機種選定に時間がかかる。

センサの高さやケーブルの引出し方向が合わないため、装置 下部の漏液が検出できない。

光学式で簡単・迅速なメンテナンスが可能

漏液検出後は検出面の拭取りで再立上げが迅速に行えます。 また光学式なので液体の導電率にも依存しません。

薬液、環境に応じた製品を準備

アンプ内蔵タイプにはPP、PVC、PFAを準備しています。さらに検出部に通電しない光ファイバ方式(材質:PFA)も取揃えています。