確実な漏液の検出を実現する豊富なラインナップ(バッチ・枚葉洗浄装置) 半導体製造のバッチ・枚葉洗浄装置で、漏水検知帯の貼り替えなど、復旧、メンテナンスに時間がかかっていませんか?また薬液や溶剤の種類に応じた機種選定に時間がかかっていませんか?本資料ではアンプ内蔵形漏液スイッチ 形 HPQ-D□□と漏液ファイバスイッチ 形 HPF-D040を使った課題解決方法をご紹介します。 装置 制御機器 事例
【半導体製造 前工程全般・枚葉式洗浄機】ウエハ洗浄の薬液塗布均一性向上に貢献します 半導体製造の前工程・枚葉式洗浄機で、薬液吹付用のノズルの窒素流量制御の際、品種やプロセス毎に薬液量のきめ細かい変更が必要になっていませんか? 装置 制御機器 事例