装置

レーザーセンサの価格が高く、お困りではありませんか？また、レーザを使用する場合、人の目に入らないよう安全対策が必要です。本資料ではコストダウンと安全対策を同時に実現する方法をご紹介します。

半導体製造のバッチ・枚葉洗浄装置で、漏水検知帯の貼り替えなど、復旧、メンテナンスに時間がかかっていませんか？また薬液や溶剤の種類に応じた機種選定に時間がかかっていませんか？本資料ではアンプ内蔵形漏液スイッチ 形 HPQ-D□□と漏液ファイバスイッチ 形 HPF-D040を使った課題解決方法をご紹介します。

【真空装置 （CVD・PVD・エッチング等）】確実な漏液検出を実現する 漏液スイッチ （漏液センサ）をご紹介します。