制御機器

ぴったりの調節計がひとめで分かるセレクションガイド

半導体製造のバッチ・枚葉洗浄装置で、漏水検知帯の貼り替えなど、復旧、メンテナンスに時間がかかっていませんか？また薬液や溶剤の種類に応じた機種選定に時間がかかっていませんか？本資料ではアンプ内蔵形漏液スイッチ 形 HPQ-D□□と漏液ファイバスイッチ 形 HPF-D040を使った課題解決方法をご紹介します。

【真空装置 （CVD・PVD・エッチング等）】確実な漏液検出を実現する 漏液スイッチ （漏液センサ）をご紹介します。

バーナを利用した焼却炉、乾燥機、ボイラ、吸水式冷温水器等の運転・監視に利用され、装置の安全を確保している燃焼安全装置 (FSG:Flame Safeguard System) の基礎知識についてわかりやすく説明した資料です。