ひとめで制御状態が分かる大型LEDと詳細に制御状態が分かる液晶表示器をはじめとした新たな機能を追加し流量制御の課題を解決する高性能なマスフローコントローラです。
- 精度1%SPを広い流量域で
- 0.3sの高速応答を広い流量域で
- 低圧ガスでも制御できる低差圧構造
- グッドデザイン賞 2021年度 受賞/iFデザインアワード2022 受賞
- 2024年度計測自動制御学会 新製品開発賞 受賞
アプリケーション
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ロウ付け・ガラス加工
高速応答なので火力変更時に火炎が瞬時に安定します。 品質安定とタクトタイム短縮に貢献します。
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ガス切断
高速応答なので元圧が変動しても流量への影響がわずかです。 火炎が安定し切断品質が向上します。
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MLCC焼成炉
使用温度範囲が -10~60℃と広く、かつ温度変化による流量 制御への影響が小さく抑えられています。 炉内の雰囲気が安定するので焼成の品質も安定します。
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ガス浸炭炉
圧力損失が小さいので、従来のマスフローコントローラでは困難だった供給圧の低いエンリッチガスの流量制御が可能です。 炉内雰囲気の制御性が向上し浸炭の品質が安定します。
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培養装置
多点流量補正機能により、現場校正時に基準流量計への合わせこみが行えます。 メーカへ現品を送る必要がないので、費用と納期を削減できます。
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実験用途
ACアダプタを使用することでコンセントから給電できます。 面倒な配線が不要です。 PCローダを使用すれば、PCから操作/モニタ/データロギングが可能です。 短時間で実験環境を構築できます。
制御機器に関するお問い合わせ
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