マスフローコントローラ

小型デジタルマスフローコントローラ　形 F4H

形番
F4H
F4H

応答性・制御性に優れた 弊社マスフローコントローラを、大幅に小型化しデジタル通信機能を発展させることで 製造装置の小型化・トータルコスト削減・製造現場のDXに貢献する製品です。

  • 小型化で省スペースに貢献
  • デジタル通信を容易に構築
  • 強力な耐ノイズ性

取扱説明書

14件
【取扱説明書／英語】Compact Digital Mass Flow Controller Model F4H9050/9200/9500/0002/0005/0020 User's Manual for Installation and Configuration
資料番号
CP-SP-1405E
形番
F4H9050, 9200, 9500, 0002, 0005, 0020
【取扱説明書／中国語（繁体）】小型デジタルマスフローコントローラ 形 F4H9050/9200/9500/0002/0005/0020 取扱説明書 詳細編 / Model F4H9050/9200/9500/0002/0005/0020 Compact Digital Mass Flow Controller User's Manual for Installation and Configuration(中文)
資料番号
CP-SP-1405T
形番
F4H9050, 9200, 9500, 0002, 0005, 0020
【取扱説明書／英語】Model F4H Compact Digital Mass Flow Controller User’s Manual for RS-485 Communication Functions
資料番号
CP-SP-1408E
形番
F4H9050, 9200, 9500, 0002, 0005, 0020
【取扱説明書／日本語】小型デジタルマスフローコントローラ　形F4H9050/9200/9500/0002/0005/0020用 ローダパッケージ　形MLP300A000　取扱説明書
資料番号
CP-SP-1415
形番
MLP
【取扱説明書／英語】User's Manual for Loader Package Model MLP300A000 for Compact Digital Mass Flow Controller Model F4H9050/9200/9500/0002/0005/0020
資料番号
CP-SP-1415E
形番
MLP

事例フライヤ・ホワイトペーパー

スパッター装置の設計効率改善（真空装置）
スパッター装置の設計効率改善（真空装置）

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