制御機器

半導体製造の前工程・枚葉式洗浄機で、薬液吹付用のノズルの窒素流量制御の際、品種やプロセス毎に薬液量のきめ細かい変更が必要になっていませんか？

複合加工機などの工作機械におけるドグ検出の課題を解決へ導く「課題解決事例集」です。ドグ検収の位置調整でお悩みの方、ミリ単位の動作検出でお困りの方、予兆管理のために実体検出をされたい方などに最適です。