【半導体製造現場】ウエハ搬送時の不良品率にお困りの方へ

・ウエハ搬送時の反りや割れなどの不良率を削減したい

・破棄するウエハ数を削減し、生産コストを下げたい

・調整作業者の工数を削減したい

自動制御により、ガス供給圧が変動しても流量を維持

各0.3秒の応答性により、一次圧力が変動しても瞬時に制御し流量を維持します。
安定した流量制御でウエハ搬送時の反りや割れ防止に寄与します。