【半導体・薬液温度制御】温度が安定せずお困りの方へ

こんなお悩みありませんか？

薬液の温度が安定しないお悩み

・薬液同士の反応熱や操作端の特性のため、安定した温度管理ができない。
・薬液交換の際に温度のハンチングやオーバシュートが発生し、調整が難しい。
・使用するヒータ自体の容量が小さく、CT電流も小さくなり断線検出が難しい。

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画像・CT複数回貫通による作業効率低下・貫通回数間違いによる誤検出

薬液温度制御のスループット向上に貢献。

メリット①

オーバーシュートを抑制し安定制御が可能

ゾーンPID・SP補正等の多彩な制御方式で自己発熱によるオーバーシュートを抑制し、かつ出力近似で全体として線形制御を実現します。

メリット②

スマートローダパッケージに同梱されたPIDシミュレータで、
PC上でPID調整が可能

試運転調整時間が短縮され、装置のタクトタイム向上や品質向上を実現します。

メリット③

微小CT計測で低容量のCT電流も確実に検出

従来検出が困難であった低CT電流領域を実効値計測として実現します。