【半導体製造装置 洗浄機 】洗浄液の低濃度化や、過酸化水素を使った計測にお悩みの方へ

過酸化水素は気泡が多く、再現性の高い計測ができない。

洗浄液の低濃度化が進み、使用する薬液量の計測が難しい。

洗浄液で使用する 薬液量が少なくなり

僅かな液体の流量計測が必要。

洗浄液は気泡が発生しやすい液体が多く、

安定した計測が難しい。

従来の流量計は検出器と変換器に

分かれており、設置が大変

数mL/minの液体流量を計測できる

アズビルで実績のあるMEMSセンシング技術を活用した、熱式計測原理を採用しました。

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気泡の影響を受けにくい計測方式を採用

アズビルが採用した熱式は、超音波式と比較し、液体中の気泡の影響を受けにくく、安定した計測が可能です。

また、ストレート流路を採用し、気泡が抜けやすい構造にしました。