【半導体製造装置 前工程全般】薬液の温度調整にお悩みの方へ

薬液調合時に反応熱が発生し、薬液タンクでの温度安定まで時間がかかる。

薬液タンクから洗浄ノズルまで薬液を送る際に、配管でも温調制御を実施したい。

独自のアルゴリズムによりオーバーシュートを抑制できる

高速制定ロジック Just-FiTTER（ジャストフィッター）がオーバーシュート抑制し、装置の立上げ時間を大幅に短縮します。

今までのモジュールの半分のスペースに

1モジュールで4ループのPID制御ができ、さらに4つのカレントトランス入力も実装しています。 今までのモジュールの半分のスペースでコンパクトにまとまります。