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凹凸センサによる耐デポ性能向上
MEMS加工技術を応用し、シフト量を1/10に改善しました。（当社比）
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応力バランス構造
感圧部の外周部に厚みを持たせ、外周部と中心部にかかる応力バランスを相殺することで、感圧部が変形しにくくなりゼロ点シフトを低減。
凹凸センサ
ダイアフラムの表面を凹凸形状に加工することで、表面に形成される堆積膜が分断されます。その結果、堆積による応力の影響が小さくなり、ゼロ点シフトを低減。
さらに他にも・・
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分離型 形 V8S
耐熱250℃の高温対応 高温プロセスでも設置箇所の自由度が高いモデルです。
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EtherCAT®通信対応
“真空計だけ別通信”をやめて、装置のEtherCATに統合できます。
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国内校正が可能
アズビル株式会社の藤沢テクノセンター（神奈川）に校正設備を保有し、迅速な校正・調整を提供します。
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資料番号：CP-PC-1608