熱式 質量流量計とは　（熱式質量流量計の基礎知識）

質量流量計の基礎知識

一口に「流量計」といっても、流量測定の原理は数多くあり、 それぞれにメリット／デメリットを持っています。 どの質量流量計を選択するかは計測目的や計測対象、環境、またコストなどの条件がからむので非常に難しいといえます。

このページでは、「熱式 質量流量計の基礎知識」と題しまして、熱式の質量流量計の原理や他方式の流量計との比較、 当社フローセンサ式 質量流量計の解説からアプリケーションまでをご紹介します。質量流量計をご検討される皆様のお役に立てれば幸いです。

目次

第一章 質量流量計とは
質量流量計とは、温度・圧力を加味した質量測定ができる方法として「厳密な計測」や「ガスなど圧縮性流体用途」を中心に近年普及している測定原理を使った流量計です。この章ではコリオリ式と熱式の質量流量計について詳しく説明します。
第二章 MEMS（フローセンサ式）質量流量計とは
MEMS式（フローセンサ式）は、熱式センサの中では最も新しい方式です。この章ではMEMS式（フローセンサ式）の質量流量計について詳しく説明します。
第三章 熱式 質量流量計のアプリケーション
一般産業用途における熱式質量流量計の用途・利点について解説します。この章では工業ガスの課別流量管理やロウ付け・ガラス加工バーナ空燃比制御の事例を紹介します。
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