是熱式感測器中最新的方式。
通過將測量元件極小化並減小熱容量，可以獲得優越的靈敏度。
利用半導體製造設備，可以實現低成本大量生產。
由於直接與氣體接觸，通常無法測量腐蝕性氣體。
根據感測器安裝方法和測量方式的不同，存在以下4種方式。
1. 直接測量方式
該方法是將感測器安裝在管道內壁附近，並在上游側用網狀或蜂窩狀材料進行整流以進行測量。具有測量範圍廣、精度高等優點，但成本也相對較高。是熱式感測器中最新的一種方式。
通過縮小測量元件並減少熱容量，可以獲得優異的靈敏度。
利用半導體製造設備，可以實現低成本大量生產。
由於直接與氣體接觸，通常無法測量腐蝕性氣體。
2. 旁路測量方式
如下圖所示，是一種將感測器安裝在旁路部分的推測式測量方法。與毛細管式一樣，如果旁路比率發生變化，則無法進行準確測量，對壓力變化和偏流不敏感，難以提高精度，但具有成本低的優點。
3. 多段流路方式
一種兼顧測量範圍廣和高精度而開發的方法。
在內部引入流速差進行測量並安裝具有不同測量流速範圍的感測器，可以實現更廣泛的測量範圍（約為1000:1）。
適用于需要高精度累計的氣體商業交易和燃料電池測試等應用場景。
4. 卡爾曼渦街檢測方式
唯一一種非品質流量測量的體積流量測量方法。還有採樣類似原理的熱敏電阻式渦流流量計。這種方法使用熱式感測器作為卡爾曼渦街的檢測元件，透過檢測漩渦頻率來測量體積流量。傳統的渦流量計通過壓電元件檢測漩渦頻率，因此在低流量範圍下的測量靈敏度較低，而熱式渦流量計則具有更廣的測量範圍。這種方法的缺點是，如果氣體中含有油霧特別是液體成分時，可能會導致測量靈敏度下降或無法測量。在沒有液體成分的氣體中，這種方法具有較寬的測量範圍和相對較低的成本。
5. 流速感測器式流量計的普及和未來發展
這是一種相對較新的原理，目前全球已有許多廠商開始投入研發和商業化。利用半導體式感測器的特性，各製造商推出了各種產品。涵蓋從需要低成本和大量供應的應用到相對較少、高附加值的工業應用。近年來，以本公司為首的3家大公司也參與其中。預計未來將在氣體流量計新興需求的增長中發揮重要作用。期待在壓縮空氣省能方面，這種低成本且可大規模安裝的流量測量得到廣泛應用，同時，對於燃料電池的效率計算感測器或控制感測器，以及在工業領域中用於管理和控制的節能應用等方面，期待在過去無法方便進行流量測定的領域中取得更進一步的發展。
