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【半導体製造 前工程全般・枚葉式洗浄機】ウエハ洗浄の薬液塗布均一性向上に貢献します 半導体製造の前工程・枚葉式洗浄機で、薬液吹付用のノズルの窒素流量制御の際、品種やプロセス毎に薬液量のきめ細かい変更が必要になっていませんか? 装置 制御機器 事例
5000万回でも大丈夫!アナログポジショナの5倍以上の耐久性を実現! 厳しい環境下でも安心、バルブ・ポジショナの交換周期を5倍以上にした事例をご紹介します。 工場/プラント フィールド機器・調節弁 事例