제어 상태를 한눈에 알 수 있는 대형 LED 및 제어 상태를 상세히 알 수 있는 액정 표시기를 비롯한 새로운 기능을 추가해, 유량 제어의 과제를 해결하는 고성능 매스 플로우 컨트롤러입니다.
- 정밀도 1%SP를 넓은 유량 영역에서
- 0.3s의 고속 응답을 넓은 유량 영역에서
- 저압 가스로도 제어할 수 있는 저차압 구조
- Good Deseign상 2021년도 수상 / iF 디자인 어워드 2022 수상
- 2024년도 계측 자동제어학회신제품 개발상 수상
사례 자료・기타
로더 패키지 / 드라이버
매스 플로우 컨트롤러
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영업일：9:00~12:00 / 13:00~18:00
(주말, 공휴일 제외)