こんなお悩みありませんか？
| FOUP内 窒素パージ 流量制御の お悩み |
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| 上位機器側でパージ流量の 立ち上がりを調整するための ロジックを組んでいる。 既設設備への後付けで、 ロジックを追加するのに工数がかかる。 | 従来のマスフローコントローラは アラームや流量が表示されないので 異常有無が判断できない。 半導体工場に専用チェッカーを 持込みするのは手間がかかる | マスフローコントローラに関する 問い合わせがあっても 現場で確認したり、メーカを同行させる ことができず、解決に 時間がかかる |
アズビルのマスフローコントローラなら
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| メリット① | マスフローコントローラで窒素流量立上がり特性の調整が可能。 形 F4QのSPランプ機能により1秒あたりの流量変化量が設定できます。既設装置上位機器のロジックを 改造する必要がありません。
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