【半導体製造装置 洗浄機 】ウエハの偏心位置計測にお悩みの方へ（枚葉洗浄装置）

特殊な洗浄プロセスで、精度の高いウエハの位置決めが必要。

非接触で位置決めをしたい。

洗浄チャンバが多い装置ではセンサの設置スペースが狭い。

クラス最高精度の実現により、ウエハの偏心位置データを高精度に取得できる

アズビル独自のFDNアルゴリズムと超解像技術で0.1μmの分解能を実現しました。

クラス最高速の計測周期により、 ウエハ偏心位置データをさらに多点に取得可能

デュアルエンジンによるマルチタスク演算で従来機種比4倍の処理速度を実現します。