【半導体製造装置 洗浄機に最適 】ウエハ洗浄の薬液を均一に塗布したい

つまりなどの原因で、薬液量が変わり、洗浄品質に影響がでてしまう。

レギュレータで圧力調整をしているが、品種やプロセスごとのきめ細かい変更が難しい。

つまりの影響を受けずに薬液量を安定して制御できる

アズビルのマスフローコントローラなら、流量を直接制御するので、薬液量が安定し、洗浄品質が向上します。

さまざまな方法で上位から設定変更できる

アズビルのマスフローコントローラなら、アナログ信号やＲＳ－485だけでなく、外部接点による流量設定切り替えができます。