【半導体製造装置・医薬・バイオ】薬液供給装置の微小流量計測でお困りの方へ

• 配管の目詰まりや漏れによる流量異常を検知するため、瞬時流量値を計測したいが微小流量に対応できる良い流量計測方法がない。
   
• 品質管理の目的でデータ管理が求められているが、計測した流量を上位システムで管理できていない。

配管の目詰まりや漏れによる流量異常を検知するため、

瞬時流量値を計測したいが

微小流量に対応できる良い流量計測方法がない

 品質管理の目的でデータ管理が求められているが、

計測した流量を上位システムで管理できていない

瞬時流量値のリアルタイム計測が可能

アナログ出力（DC1～5V）により瞬時流量値の出力が可能です。