SEMICON Japan 2022出展のご案内

『デポ課題を解決。成膜・エッチャプロセスの進化に貢献』をテーマに、


お客様へ“ 新たな価値” をご紹介し、ご体感いただきます。

アズビルブースにご来場いただきまして誠にありがとうございました。

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アズビル展示ブースの概要

成膜、エッチャ計測制御

デジタルマスフローコントローラ　形 F4Q

F4Q
  • 高速応答、低圧損、高精度、豊富な機能で流量制御の課題を解決
関連製品
デジタルマスフローコントローラ　形 F4Q

ウェットプロセス計測

熱式微小液体流量計　形 F7M

F7M
  • 0.1～50mL/minの微小流量計測可能
  • 小型・軽量で取付け簡単
  • 設置場所・流体を選ばない
  • ストレート流路で様々なアプリケーションに対応
関連製品
熱式微小液体流量計　形 F7M

アンプ内蔵漏液スイッチ　形 HPQ-D

HPQ-D
  • 光学式で簡単・迅速なメンテナンスが可能
  • 薬液・環境に応じた製品を準備
  • 薄型構造で狭いスペースに設置が可能
  • ロック機構付きで確実な取付けが可能
関連製品
アンプ内蔵漏液スイッチ　形 HPQ-D□□

アンプ内蔵パイプ取付け形液面スイッチ　形 HPQ-T□□

HPQ-T
  • 省スペース、連装取付け対応
  • 表示灯、動作切替えスイッチを側面に配置
  • 様々なパイプ径に対応
関連製品
アンプ内蔵パイプ取付け形液面スイッチ　形 HPQ-T□□

パイプ取付け液面ファイバユニット　形 HPF-T032□/ HPF-T034□

HPF
  • タンク液面の上下限検出にフェールセーフ対応
  • 16光軸で、気泡や水滴の影響もキャンセル
  • PFAジャケットファイバー採用
  • 幅広いパイプ径に対応
  • 光軸位置マーク付き
関連製品
パイプ取付け液面ファイバユニット　形 HPF-T032□/HPF-T034□

ドライ真空ポンプにおけるデポ堆積ロックの予兆検知

　　　　　　　　　　　　　

グラフィカル調節計 形 C7G

C7G
  • ドライ真空ポンプ内部のデポ堆積レベルを推定し、真空ポンプのロック（停止）の発生確率が高くなったことを通知することで、真空引き突発トラブルによる成膜プロセスの損失リスクを低減
関連製品
グラフィカル調節計　形 C7G

展示会情報

SEMICON Japan 2022

アズビル展示ブースまでのご案内

■会場までの路線図

都内主要駅から東京ビッグサイトまでの路線図 都内主要駅から東京ビッグサイトまでの所要時間

■駅・会場周辺 案内地図

会場までのご案内

国際展示場正門駅・国際展示場駅・東京ビッグサイト 周辺地図

■会場内案内図

東京ビックサイト　東展示棟

会場内案内図

ご来場前には是非当社営業までご一報ください。

展示会情報詳細
展示会名称 SEMICON Japan 2022
会期 2022年12月14日（水）〜16日（金）
開場時間 10:00〜17:00
会場 東京ビッグサイト（有明：東京国際展示場）
東展示棟　東1～5ホール
〒135-0063 東京都江東区有明3-11-1
▶ 交通アクセス
入場料 ご来場には事前登録が必要です
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主催 SEMIジャパン
WEBサイト