サファイア隔膜真空計 形 V8
- 耐デポ性能向上
・MEMS加工技術により、2種類のセンサ構造を実現
・応力バランス構造のフラットセンサ
・付着膜を分断する凸凹センサ - 先端プロセスに適合可能な250℃の高温対応
・分離型構造と耐熱設計により、ガス供給の高温化に対応 - 容積を当社従来比40%削減しフットプリント削減に貢献
・EtherCAT通信付きでも小型化
※EtherCAT®は、ドイツBeckhoff Automation GmbHよりライセンスされた特許取得済み技術であり登録商標です。
- 関連製品
- サファイア隔膜真空計 形 V8C/V8S
上記以外にも参考出展を複数ご用意していますので、ぜひご来場ください。